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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
特氟龍晶圓盒晶片承載器耐氫氟酸晶圓清洗用PTFE也稱：四氟、聚四氟乙烯、特氟龍、F4、Teflon；我公司的四氟產(chǎn)品是采用高純實(shí)驗(yàn)級(jí)的聚四氟乙烯加工而成。四氟花籃適用于半導(dǎo)體、多晶硅、新能源、新材料、太陽(yáng)能等行業(yè)；一般用于太陽(yáng)能硅片擺放，清洗，酸浸泡等。
產(chǎn)品分類
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2021-08-122025-09-092022-07-232020-08-05| 品牌 | 南京瑞尼克 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,能源,電子/電池 |
|---|---|---|---|
| 耐酸堿 | 氫氟酸等強(qiáng)酸強(qiáng)堿有機(jī)溶劑 | 本底值 | 金屬雜質(zhì)本底值低，潔凈無(wú)污染 |
| 尺寸 | 尺寸可定制，配套超聲波清洗機(jī)，半導(dǎo)體設(shè)備等 |
特氟龍晶圓盒晶片承載器耐氫氟酸晶圓清洗用
隨著半導(dǎo)體制造工藝的不斷進(jìn)步，晶圓清洗作為關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一，對(duì)清洗設(shè)備及材料的要求日益嚴(yán)格。聚四氟乙烯（PTFE）晶圓清洗花籃因其的材料特性，在半導(dǎo)體行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。本文將詳細(xì)探討PTFE晶圓清洗花籃的優(yōu)勢(shì)及其在半導(dǎo)體行業(yè)中的重要作用。
優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性
PTFE材料具有的耐腐蝕性，能夠耐受強(qiáng)酸、強(qiáng)堿及各種有機(jī)溶劑的侵蝕。在晶圓清洗過(guò)程中，清洗劑通常具有強(qiáng)腐蝕性，而PTFE花籃能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定使用，避免因材料腐蝕導(dǎo)致的污染問(wèn)題。
出色的防粘性能
PTFE表面能極低，具有優(yōu)異的防粘特性。在清洗過(guò)程中，晶圓表面不會(huì)與花籃粘連，減少了晶圓表面損傷的風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)避免了顆粒物殘留，確保清洗效果。
耐高溫性能
PTFE材料可在-200°C至260°C的溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定工作，能夠適應(yīng)高溫清洗工藝的需求。在半導(dǎo)體制造中，許多清洗步驟需要在高溫環(huán)境下進(jìn)行，PTFE花籃能夠這一要求。
高純度和低污染
PTFE材料本身具有的純度，不會(huì)釋放任何雜質(zhì)或離子，避免了晶圓表面的二次污染。這對(duì)于半導(dǎo)體制造中高潔凈度的要求至關(guān)重要。
晶圓清洗工藝
在半導(dǎo)體制造中，晶圓清洗是確保芯片性能的關(guān)鍵步驟。PTFE花籃廣泛應(yīng)用于濕法清洗工藝中，如RCA清洗、超聲波清洗等。其耐腐蝕性和防粘性能能夠有效提高清洗效率，確保晶圓表面無(wú)污染。
化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）后清洗
CMP工藝后，晶圓表面會(huì)殘留大量拋光液和顆粒物。PTFE花籃在CMP后清洗中能夠耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿清洗劑，同時(shí)避免晶圓表面劃傷，確保清洗質(zhì)量。
高溫清洗與去膠工藝
在高溫清洗和去膠工藝中，PTFE花籃能夠穩(wěn)定工作，不會(huì)因高溫變形或釋放有害物質(zhì)，滿足半導(dǎo)體制造對(duì)高潔凈度和高穩(wěn)定性的要求。
電鍍與表面處理
PTFE花籃還廣泛應(yīng)用于晶圓的電鍍和表面處理工藝中。其耐腐蝕性和防粘性能能夠有效保護(hù)晶圓表面，避免在電鍍過(guò)程中產(chǎn)生缺陷。
實(shí)驗(yàn)室與研發(fā)應(yīng)用
在半導(dǎo)體研發(fā)和實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中，PTFE花籃因其高純度和化學(xué)穩(wěn)定性，成為晶圓清洗和處理的理想選擇，能夠滿足實(shí)驗(yàn)中對(duì)材料性能的苛刻要求。
特氟龍晶圓盒晶片承載器耐氫氟酸晶圓清洗用
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